一、背景
由于芯片短缺問題和近2年海運擁堵和成本上升等因素,致使全球資本對于芯片制造工廠的投入增大,而中興、華為的例子已經凸顯出國產半導體供應鏈的重要性,除去地緣政治上的意義,發展半導體其實是中國經濟的轉型的必走之路。
半導體生產是一種高度復雜的工藝,涉及數百個工序。由于尺寸特殊且非常精密,幾乎無法手動生產集成電路。此外,生產對純度、潔凈度和功能性提出了嚴格要求。因此,半導體工廠需要高度自動化、智能互聯、模塊化且靈活的生產理念,物聯網RFID技術推動半導體行業的自動化發展,提高芯片企業產能!
二、方案介紹
方案一:RFID在半導體車間AGV搬運機器人的應用
在半導體車間實現無人化運輸管理,采用AGV小車進行物料運輸,將RFID讀寫器安裝在AGV小車底部,在運輸軌道節點部署RFID載碼體,當AGV小車經過軌道節點時,讀寫器自動采集載碼體信息,實時掌握物料的運輸情況及其往哪個生產工序運輸。
方案二:RFID半導體產線的應用
將RFID讀寫器部署在機械手臂,晶圓盒部署RFID載碼體,當機械手臂開始工作時,讀寫器自動采集載碼體信息,及時了解是什么產品、如何加工、何時加工,并跟蹤晶圓在加工流程中的具體位置,可顯著減少晶圓的供應時間,并充分減少該工序的工作量,倉儲管理系統將RFID的信息與生產控制系統 (MES) 的信息關聯在一起,可實時監測所有晶圓。
方案三:RFID在半導體晶元儲存柜的應用
將RFID讀取器部署在儲存柜承載平臺支撐板下方,將RFID載碼體安裝至晶圓盒,當晶圓進入儲存柜時,RFID讀取器識別RFID載碼體來監測拾放物料期間晶圓的儲存位置。因此,必要時可立即找到所有儲存的晶圓。
三、設備配置
1、JY-L8800 AGV RFID讀卡器
JY-L8800是一款專為AGV小車設計的RFID地標讀卡器,采用扁長型外觀設計,可靈活安裝,避免在AGV小車在行走偏離或特殊場景拐彎時漏讀。內部價集成了射頻部分通信協議,無需理解復雜的射頻通信協議,使用簡單,只需通過RS232/RS485通信接口便可完成標簽數據的讀取操作。支持FDX-B、EMID兩種格式標簽的讀取,波特率最高可配置115200。
JY-L8800 AGV RFID讀卡器性能參數
2、JY-V640半導體RFID讀寫器
JY-V640是面向半導體制造業開發的半導體RFID讀寫器,采用HDX半雙工數據傳輸模式,支持SECS協議和Modbus RTU協議,符合世界SEMI標準,兼容TI公司產的CID載體,具有出色的讀寫可靠性和耐環境性,支持外部光電開關的IO信號觸發讀卡。
JY-V640半導體RFID讀寫器性能參數
3、JY-V610半導體RIFD讀取器
JY-V610半導體RFID讀取器小巧輕便,可靈活安裝。支持134.2kHz工作頻率,采用HDX半雙工數據傳輸模式,支持標準Modbus RTU協議,內部集成射頻部分通信協議,使用操作簡單,無需理解復雜的射頻通信協議。
JY-V610半導體RIFD讀取器性能參數
四、實施效益
1,避免人為原因導致放置的高度以及數量有限,更加精準利用空間;
2,避免人工帶來出錯、耗時等問題;
3,可以跟蹤所有的物料流;
4,及時掌握晶圓芯片的存取情況;
5,減少污染,保持晶圓潔凈;
6,提升半導體行業自動化管理水平。
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